●物理作用表往常具有荷电集尘作用。等离子体中的大量电子与颗粒污染物发作非弹性碰撞并粘附其表面从而使其荷电，在电场作用下，颗粒污染物被集尘极搜集。
低温等离子体废气处置成套设备和技术是在原电晕放电基础上由高频高压电场经过尖端放电产生的新一代低温等离子体技术具有能量高、电子发射密度高等特性，其净化原理如下：
     ●在放电过程中，电子从电场中取得能量，经过非弹性碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些取得能量的分子被激起或发作电离构成活性基团，当污染物分子取得的能量大于其分子键能的分离能时，污染物分子的分子键断裂，直接合成成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。
     ●等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激起态粒子和具有强氧化性的后型自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞分离，同时产生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性极强的O3，能与有害气体分子发作化学反响，最后生成无害产物。
     ●生物作用表往常具有消毒杀菌之效果。机理为：等离子体中的正负粒子使微生物表面产生的电能剪切力大于其细胞膜表面张力，致使细胞膜遭到破坏而招致微生物死亡。

     在放电过程中，电子从电场中取得能量，经过非弹性碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些取得能量的分子被激起或发作电离构成活性基团，同时空气中的氧气和水分在高能电子的作用下也可产生大量的重生态氢、活性氧和羟基氧等活性基团，这些活性基团相互碰撞后便引发了一系列复杂的物理、化学反响。从等离子体的活性基团组成能够看出，等离子体内部富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激起态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发作反响，最终转化为CO2和H2O等物质，从而抵达净化废气的目的。