1.前言
电子元件是电子工业的基本，其产物-般搜罗电容器、电阻、电位器、电毗连元件、节制元件，以及敏感元件和传感器等，电子元件产物具有种类多、出产工艺分歧大，出产线更新转变快的特点，加工工艺-般涉及机械、化工、热加工或配制等多种工艺的组合。
在电子元件制造车间情形中，工人长时刻工作时大量VOC的排放对人体的身体造算作了重大的威胁。

2.行业VOCs排放特点
(1)活性碳吸附法
电子产物制造行业的VOCs排放浓度较高平均排放浓度在55mg/m3摆布，收集或者措置水平斗劲低。今朝存在的难题是：


(1)该行业的部门出产线转变性较大，而且改换周期不心猿意马。
(2)VOC排放浓度在各个工艺之间差异较大，这对VOC集中收集造算作了不小的难度，对该行业VOC排放尺度的拟心猿意马也有很大影响。
3.行业VOCs治理手艺
今朝电子产物制造行业使用的有机废气治理手艺事首要搜罗活性碳吸附法沸石分子筛浓缩转轮燃烧法、蓄热式催化燃烧法。
图1活性炭吸附法工艺流程图
(2)沸石分子筛浓缩转轮焚烧法
在电子产物制造行业的电路板清洗过程中，大量的有机溶剂如异丙醇等在使用过程中挥发，经由过程超声波清洗剂上方局部排风系统收集，今朝凡是采用固心猿意马床活性炭吸附装配措置后排放。活性炭属非极性吸附剂，对非极性化合物的吸附能力较强，一般用来净化较低浓度的三氯乙烯、二氯甲烷、四氯乙烯、四氯化碳、甲苯、二甲苯、丙酮、丁酮、乙酸、乙酯等。一般的措置工艺流程图如下所示。
沸石分子筛浓缩转轮焚烧法是今朝被集算作电路企业所普遍采用的有机气体措置体例。有机废气进入沸石转轮，经由过程沸石分子筛吸附了废气中大部门有机算作分，形算作较清洁的空气，一部门较清洁的气体排放至大气中，而另一部门气体则进入再生区，经再生区后的废气则含有高浓度的有机算作分，这样可降低后续措置轨范的操作算作本。一般工艺流程如图4所示。操作沸石分子筛浓缩转轮将大风量低浓度的废气浓缩算作小风量高浓度，再以直燃式(燃气式)焚化的体例，将有机算作分转化为无害的CO2和水，以达到去除有机物的目的。沸石分子筛转轮浓缩燃烧系统的特点是可以前进履态吸附息争析，不存在吸附剂的饱和问题，恰当的调整转轮的转速，再生温度、风量等，获各有所长精采的下场，对于有机算作分的去除率在90%摆布，浓缩倍数可达5~20。可是，连结这么高的温度所需燃料费用很大。
图2浓缩转轮一般工艺流程图
(3)蓄热式催化燃烧法（RCO）
与蓄热式燃烧法（RTO）分歧，RCO催化燃烧所需的反映温度更低（一般在500oC下），且不会发生NOx等二次污染物。催化燃烧法的关头是催化剂，按催化剂活性组分可分为贵金属（Pt、Pd、Au等）和过渡金属金属氧化物(如Cr2O3、CuO、MnOx等)催化剂，笼盖于载体概况。催化燃烧一般反映为:
CxHy+O2→CO2+H2O+热量，(碳氢化合物，有害)→(无害)
RCO系统是在必然温度下废气中VOC与催化剂浸染发生催化氧化反映，去除效率可达99%，采用蓄热材质（如陶瓷）的催化室可大幅削减热量的损耗。
催化燃烧系统流程十分简单，图3说了然各类设备中的事首要组件，整套系统搜罗:预热器、催化剂床层、热交流器、送风机以及温度、风量节制单元。